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산업가스안전기기시험

업무개요

반도체 산업에 사용되는 산업가스 검지기와 독성가스 및 온실가스를 중화처리하는 장비인 POU 스크러버 시험인프라를 구축하여, KS인증표준 및 의뢰자가 요구하는 기준으로 산업가스 안전기기의 성능평가가 가능합니다.

업무개요에 관한 표 - 법적근거, 입무대상으로 구성
법적근거 고압가스안전관리법 제18조의4(안전설비 안전인증)
업무대상
  • 산업가스 검지기

    KS IEC 62990-1, EN 45544 Series, IEC 60079-29-1에 따라 NO, CO, H2S, SO2, NH3, HCl, GeH4, PH3 등 총 8종의 산업가스 검지기를 사용하는 자

  • POU 스크러버

    KS I 9100(독성가스 및 온실가스 스크러버)에 따라 반도체 제조공정에 사용되는 1,000 L/min 이하의 연소, 열원, 플라즈마, 수처리, 복합 형식의 독성가스 및 온실가스 1차(POU) 스크러버를 사용하는 자

업무내용

산업가스 검지기 KS 인증 시험가스 및 시험항목(주요 시험표준 참조: KS C IEC 62990-1)
업무내용에 관한 표 - 번호 시험가스명으로 구성
번호 시험가스명 번호 시험가스명
1 일산화탄소(CO) 5 암모니아(NH3)
2 포스핀(PH3) 6 모노게르만(GeH4)
3 일산화질소(NO) 7 아황산가스(SO2)
4 염화수소(HCI) 8 황화수소(H2S)
업무내용에 관한 표 - 번호 시험가스명으로 구성
번호 시험가스명 번호 시험가스명 번호 시험가스명
1 일반 요구사항 12 유량 23 TWA기능
2 무 전원 상태보관 13 웜업 시간 24 안정도
3 편차 측정 14 응답시간 25 저전압과 전원차단
4 진동 15 회복시간 26 현장 배선 고장
5 낙하 16 채취용 탐침 추가 27 디지털 통신고장
6 온도 17 현장 교정 키트 28 영점 미만의 측정값
7 압력 18 지시상한 초과 29 센서분리
8 습도 19 연장작동 30 소프트웨어 제어기기
9 풍속 20 방위 시험 31 물에 대한 보호
10 경보 설정점 21 배터리용량 32 경보측정 시험
11 경보설정 22 공급 전원변동
POU 스크러버 KS 인증 시험가스 및 시험항목(주요 시험표준 참조 : KS I 9100)
POU 스크러버 KS 인증 시험가스 및 시험항목 - 번호,가스명으로 구성
번호 가스명 번호 가스명
1 알진(AsH3) 7 삼염화붕소(BCl3)
2 모노실란(SiH4) 8 암모니아(NH3)
3 일산화탄소(CO) 9 사불화탄소(CF4)
4 포스핀(PH3) 10 삼불화질소(NF3)
5 일산화질소(NO) 11 육불화항(SF6)
6 염화수소(HCI) 12 아산화질소(N2O)
POU 스크러버 KS 인증 시험가스 및 시험항목 - 번호,가스명으로 구성
번호 시험항목 번호 가스명
1 저감효율 7 절연저항
2 표면온도 8 접지연속성
3 소음 9 인입전류
4 배기환기 10 누설전류
5 안전기능 11 잔류전압
6 내전압 * 연소, 열원, 플라즈마, 습식 스크러버 대상

업무절차

  1. 신청

    의뢰 문의

    신청서 작성

    수수료 신청

  2. 수수료 납부

    견적 및 협의

    수수료 입금

  3. 시험·인증

    시험 진행

  4. 결과 통보

    시험성적서 발급

문의처
  • 시험검사처 안전기기부
  • 조현일
  • 차장
  • 0437501517
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