HORIBA 压力控制产品用于监控、调节或控制供气管路内的压力。
产品类型主要包括高性能数字压力传感器和压电阀,有助于消除因大流量管路切换引起的串扰影响。
HORIBA 晶圆冷却系统使用氦气减少热损伤,同时我们的排气压力控制器将腔室中的压力保持在稳定的水平。
Micro Flow Pressure Insensitive Mass Flow Module
Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module
高响应压力非敏感质量流量器
宽范围压敏质量流量计
紧凑型质量流量控制器
电容式压力计
压差式质量流量控制器
双路皮托管流量计
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