光伏制造过程的过程控制与现场测量
外形尺寸
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SEC-N100 系列
数字式质量流量控制器
SEC-N100 系列适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列还支持各种通信模式，即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 。SEC-N100 系列提供高精度（ /- 1.0% 设定点 *1）和高速响应。该质量流量控制器还具有多气体/多量程功能，可降低制程成本。
*1 不包括 SEC-N17X 系列
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- 控制范围广，从微流到大量程（10 SCCM 至 1000 SLM）
- 支持多种通信模式和电源
- 高精度： /- 1.0% 设定点 (*1)
- 1 秒高速响应（*1）
- 多气体/多量程功能
多气体/多量程系统使用户可以自由更改气体类型或满量程流量。
| Models | Select communication mode | Select power supply |
| SEC-N102 series | Digital communication ▶RS485 F-NET Protocol Analog communication ▶0〜5VDC | ±15VDC(±5%) HORIBA'S lineup includes leased power supply PE series. |
| SEC-N104 series | DeviceNet™ communication | Conforming to ODVA standards |
| SEC-N105 series | CC-Link® communication Analog communication ▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | Conforming to CC-Link® standards 24VDC (13 to 32VDC) |
| SEC-N106 series | PROFIBUS™ communication Analog communication ▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | Conforming to PROFIBUS™ standards 24VDC(13 to 32VDC) |
| SEC-N107 | EtherCAT® communication | Conforming to EtherCAT® standards 24VDC |
*1 不包括 SEC-N17X 系列
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HORIBA 是专业气体和液体质量流量控制器制造商，拥有一系列模拟、数字和高温质量流量控制器以及使用点液体源汽化控制和输送系统。
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