Dichloorsilaan
| Dichloorsilaan | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Structuurformule en molecuulmodel | ||||||
| ||||||
Structuurformule van dichloorsilaan
| ||||||
| ||||||
Molecuulmodel van dichloorsilaan
| ||||||
| Algemeen | ||||||
| Molecuulformule | H2Cl2Si | |||||
| IUPAC-naam | dichloorsilaan | |||||
| Andere namen | DCS | |||||
| Molmassa | 101,01 g/mol | |||||
| SMILES | ClSiCl
| |||||
| CAS-nummer | 4109-96-0 | |||||
| PubChem | 61330 | |||||
| Wikidata | Q418556 | |||||
| Waarschuwingen en veiligheidsmaatregelen | ||||||
| ||||||
| H-zinnen | H330 - H220 - H314 - H280 | |||||
| EUH-zinnen | EUH071 | |||||
| P-zinnen | P260 - P280 - P210 - P304 P340 - P303 P361 P353 - P305 P351 P338 - P315 - P377 - P381 - P405 - P403 | |||||
| VN-nummer | 2189 | |||||
| Fysische eigenschappen | ||||||
| Aggregatietoestand | gasvormig | |||||
| Kleur | kleurloos | |||||
| Dichtheid | (bij 8°C) 1,261 g/cm³ | |||||
| Smeltpunt | −122 °C | |||||
| Kookpunt | 8 °C | |||||
| Vlampunt | −28 °C | |||||
| Dampdruk | (bij 20°C) 163,6 Pa | |||||
| Tenzij anders vermeld zijn standaardomstandigheden gebruikt (298,15 K of 25 °C, 1 bar). | ||||||
| ||||||
Dichlorosilaan (H2SiCl2), meestal afgekort tot DCS, is een kleurloze gasvormige anorganische siliciumverbinding met een karakteristieke geur. De stof heeft zeer ruime explosiegrenzen: 4,1 tot 99%.
Dichloorsilaan wordt voornamelijk gebruikt in de productie van halfgeleiders op basis van siliciumnitride. Om dit te bereiken wordt dichloorsilaan gemengd met ammoniak (NH3) in een LPCVD kamer waarin vervolgens het siliciumnitride als een film gevormd wordt.
Een hoge verhouding DCS:NH3 (vaak 16:1), resulteert in nitridefilms met een lagere mechanische spanning.
Externe links
[bewerken | brontekst bewerken]- Safety data for dichlorosilane from the Chemistry Department at Oxford University.
- ICSC 0442