[디지털데일리 배태용 기자] 극자외선(EUV) 노광장비 세계 1위 네덜란드 기업 ASML이 경기도 화성시에 1조원 규모의 차세대 반도체 연구개발(R&D) 지원시설을 짓는다. 주요 고객사인 삼성전자 파운드리의 차세대 반도체 공정 개발을 지원하기 위해서다.
4일 화성시 등에 따르면 ASML은 지난달 28일 한국토지주택공사(LH)와 EUV를 활용한 삼성전자의 초미세 반도체 제조 공정 R&D를 지원하기 위한 시설 건립 부지 매입 계약을 체결했다.
정명근 화성시장은 방한 중인 프랭크 헤임스케르크 ASML 대외총괄 부사장을 만나 "업무시설 등의 뉴 캠퍼스에 이어 1조원 규모의 'ASML-삼성전자 연구지원시설' 건립 부지로 화성시를 선택해 주신 것에 감사하다"며 "ASML 프로젝트의 성공을 위해 각종 인허가뿐 아니라 밀착지원하는 원스톱 서비스를 제공하겠다"고 말했다.
프랭크 헤임스케르크 부사장은 "화성시의 전폭적인 지원으로 'ASML 화성 뉴 캠퍼스' 조성이 계획대로 순조롭게 진행되는 것에 감사하다"면서 "삼성전자는 ASML의 중요 고객이고 이번 연구지원시설 건립은 양사 간의 기술동맹을 돈독히 하고 한국내 반도체 기업과의 협력을 강화하는 계기가 될 수 있을 것"이라고 밝혔다.
화성시는 네덜란드 정부 및 기업들과 반도체 등 다양한 분야에서 교류협력을 확대할 수 있을 것으로 기대하고 있다.
