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반도체 광학계측 포괄솔루션 제공
파크시스템스가 유럽 업체 인수를 통해 광학계측 사업 영역을 확장했다.
파크시스템스는 "디지털 홀로그래픽 현미경(DHM)" 사업을 운영하는 스위스 린시테크를 인수했다고 6일 밝혔다. 린시테크는 지난 2003년 스위스 로잔 연방공과대학(EPFL) 연구진이 설립한 업체로 DHM 기술 연구·개발 및 상업화를 선도해왔다.
린시테크가 보유한 DHM 기술은 홀로그램을 활용해 샘플의 3차원(3D) 정보를 스캔 없이 전체 시야에서 빠르게 얻을 수 있는 혁신적인 방식이다. 기존 간섭계 기반 광학 프로파일링보다 100배 이상 빠르게 이미징 속도를 제공한다.
아울러 DHM 제품은 크기가 작아 연구 및 산업 생산 환경에서 활용하기 쉽다. 재료과학과 생명과학, 멤스(MEMS), 제조업 등 다양한 분야에서 높은 정밀도와 효율성을 인정받고 있다.
파크시스템스는 앞서 지난 2022년 독일 계측장비회사 아큐리온을 인수했다. 아큐리온은 "이미지 분광 타원계측(ISE)" 분야에서 독보적인 기술력을 보유했다. 이번에 스위스 린시테크까지 인수하면서 기존 "원자현미경(AFM)"에 이어 광학계측 사업 영역을 한 단계 더 확장했다.
박상일 파크시스템스 대표는 "린시테크 인수는 반도체 공정 전반에 걸쳐 포괄적인 광학계측 솔루션을 제공하는 글로벌 리더로 나아가는 데 중요한 전환점이 될 것"이라며 "AFM 기반 플랫폼에 DHM 기술을 더해 완전 자동화된 DHM 시스템을 개발하고, 이를 어드밴스드 패키징을 포함한 다양한 반도체 응용 분야에 적용할 계획"이라고 말했다.
한편 경기 수원에 본사를 둔 파크시스템스는 AFM 업계 세계 1위 자리에 올라 있다. 2015년 12월 코스닥 시장에 상장한 이래 연평균 30% 수준 고성장을 이어간다.
파크시스템스는 해외 수출을 확대하기 위해 미국과 독일, 영국, 중국, 대만, 일본 등에 판매 법인을 자회사로 운영하며 현지에서 영업 활동을 강화하는 중이다. 전 세계 11개국에 12개 현지 법인을 운영하는 한편, 30개국에 판매망을 구축했다.
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