10 nanòmetres

Fig.1 Exemple de tecnologia de 10 nm

Tecnologia	Any
10 um	1971
6 um	1974
3 um	1977
1,5 um	1982
1 um	1985
800 nm	1989
600 nm	1994
350 nm	1995
250 nm	1997
180 nm	1999
130 nm	2001
90 nm	2004
65 nm	2006
45 nm	2008
32 nm	2010
22 nm	2012
14 nm	2014
10 nm	2017
7 nm	2018
5 nm	2019
3 nm	~2021

10 nanòmetres (10 nm) és una tecnologia de fabricació de semiconductors en què els components tenen una dimensió de 10 nm. És una millora de la tecnologia de 14 nm. La llei de Moore diu que la superfície és redueix a la meitat cada 2 anys, per tant el costat del quadrat de la nova tecnologia serà de $10\simeq {\frac {14}{\sqrt {2}}}$. Sabent que els àtoms de silici tenen una distància entre ells de 0,543 nm, llavors el transistor té de l'ordre de 18 àtoms de llargada.

Història

• 2015, l'empresa TSMC anuncia el començament de la producció en 10 nm.
• 2015, l'empresa Samsung mostra oblies de 300mm amb FinFET de 10 nm.
• 2016, Intel comença la producció de prova de 10 nm.
• 2016, Samsung anuncia la producció en massa de 10 nm

Tecnologia emprada

• Tecnologia de materials amb Dielèctric high-k.
• Tecnologia de materials amb Dielèctric low-k.
• Tecnologia de SOI (silici sobre aïllant).
• Tecnologia de litografia millorada amb llum ultraviolada i multiple patterning.
• Tecnologia de transistor FinFET.

Processadors

Fig.1 Transistor FinFET

Informació preliminar :

Fabricant	Intel		Samsung		TSMC		SK Hynix
Nom del procés	P1274		10LPE, 10LPP, 10LPU
Primera producció	2017		2017		2017		2017
Tipus	FinFET
	Valor	14 nm Δ	Valor	14 nm Δ	Valor	16 nm Δ	Valor	18 nm Δ
Pas de Fin	? nm	?x	? nm	?x	? nm	?x	? nm	?x
Amplada de Fin	? nm	?x	? nm	?x	? nm	?x	? nm	?x
Alçada de Fin	? nm	?x	? nm	?x	? nm	?x	? nm	?x
Pas de contacte de porta	54 nm	0.77x	64 nm	0.82x	64 nm	0.71x	? nm	?x
Pas de connexió	? nm	?x	48 nm	0.75x	42 nm	0.66x	? nm	?x
Cel·lula 1 bit de RAM (HD)	? µm²	?x	0.049 µm²	0.61x	? µm²	?x	? nm	?x
Cel·lula 1 bit de RAM (LP)	? µm²	?x	0.040 µm²	0.63x	? µm²	?x	? nm	?x

Vegeu també

• Circuit integrat
• Tecnologia SOI
• Tecnologia Dielèctric high-k
• Tecnologia Dielèctric low-k
• Tecnologia litogràfica amb llum ultraviolada i multiple patterning