هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم
المظهر
هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم | |
---|---|
الاسم النظامي (IUPAC) | |
N,N,N-Trimethylmethanaminium hydroxide |
|
أسماء أخرى | |
tetramethylammonium hydroxide |
|
المعرفات | |
الاختصارات | TMAH |
رقم CAS | |
CAS | 75-59-2 |
بوب كيم | 60966[1] |
مواصفات الإدخال النصي المبسط للجزيئات
|
|
الخواص | |
الصيغة الجزيئية | C4H13NO |
الكتلة المولية | 91.15 غ/مول |
المظهر | بلورات إبرية عديمة اللون |
الكثافة | 1.015 غ/سم3 |
نقطة الانصهار | 67 °س |
الذوبانية في الماء | 70 غ/100 مل ماء |
المخاطر | |
رمز الخطر وفق GHS | |
وصف الخطر وفق GHS | خطر |
في حال عدم ورود غير ذلك فإن البيانات الواردة أعلاه معطاة بالحالة القياسية (عند 25 °س و 100 كيلوباسكال) | |
تعديل مصدري - تعديل |
هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم ( اختصاراً TMAH ) هو كاتيون أمونيوم رابعي يمكن كتابة صيغته على الشكل −N(CH3)4] OH، ويوجد على هيئة صلب بلوري عديم اللون.
التحضير
[عدل]يحضر هذا الملح من تفاعل كلوريد رباعي ميثيل الأمونيوم مع هيدروكسيد البوتاسيوم في الميثانول الجاف.
الخواص
[عدل]يوجد المركب في الشروط القياسية على هيئة بلورات إبرية عديمة اللون، وهي ذات انحلالية جيدة جداً في الماء. وهو عادة ما يستخدم على هيئة محلول. لهذا الملح خواص قاعدية قوية.[2] ويؤدي تسخينه إلى الحصول على ثلاثي ميثيل الأمين والميثانول.
الاستخدامات
[عدل]يستخدم هذا المركب في مجال نقش السيليكون في مجال التصنيع الدقيق لأشباه الموصلات.[3]
طالع أيضاً
[عدل]المراجع
[عدل]- ^ ا ب ج د TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE (بالإنجليزية), QID:Q278487
- ^ Stewart، R.؛ O'Donnell، J. P. (1964). "Strongly basic systems: III.The H_ function for various solvent systems". Can. J. Chem. ج. 42 ع. 7: 1681–1693. DOI:10.1139/v64-251.
- ^ Thong، J. T. L.؛ Choi، W. K.؛ Chong، C. W. (1997). "TMAH etching of silicon and the interaction of etching parameters". Sensors and Actuators A: Physical. ج. 63 ع. 3: 243–249. DOI:10.1016/S0924-4247(97)80511-0.